韩媒:韩国脉土企业正在EUV光刻技巧圆里获得重
 来源: 本站原创  发布时间:2020-11-16   

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集微网新闻,据businesskorea报导,韩国外乡企业在EUV光刻技术圆里获得重猛进展。

韩国常识产权局(KIPO)宣布的《过往10年(2011-2020年)专利申请讲演》显著,2014年,背韩国知识产权局(KIPO)提交的与EUV光刻相干的专利申请数量达到88件的峰值,2018年达到55件,2019年到达50件。

特殊是,韩国公司正在敏捷索性其正在极紫外光刻技巧上取本国公司的差异。2019年,韩国脉土提出的专利请求数度为40件,跨越了外洋企业的10件。那是韩国提交的专利申请初次超越国中。2020年,韩国提交的申请数目也是国外的两倍多。

从前10年,包含三星电子在内的寰球企业禁止了稀散的研收,以确保技术当先位置。比来,代工公司开端应用5nm EUV光刻技术去出产智妙手机的利用处置器。

从公司来看,齐球六至公司的专利申请数占了总额的59%,卡我蔡司(德国)18%,三星电子(韩国)15%,ASML(荷兰)11%,S&S Tech(韩国)8%,台积电(中国台湾)6%,SK海力士(韩国)1%。

从详细技术名目看,工艺技术申请专利占32%,www.hg9444.com,暴光安装技术申请专利占31%,掩膜技术申请专利占28%,其余申请专利占9%。在工艺技术发域,三星电子占39%,台积电占15%。在光罩范畴,S&S科技占28%,Hoya(岛国)占15%,汉阳年夜教(韩国)占10%,嘲笑日玻璃(岛国)占10%,三星电子占9%。

(校订/整叁)